Pozos Cuánticos de AlGaAs/GaAs/AlGaAs Crecidos por MBE: Análisis Estructural y de Composición
DOI:
https://doi.org/10.56913/teceo.2.3.23-36Palabras clave:
Pozos cuánticos, Semiconductores III-V, Difracción de electrones reflejados de alta energía, Fotoluminiscencia, Composición químicaResumen
En este trabajo se presentan estudios de composición química y de control de crecimiento de pozos cuánticos semiconductores basados en semiconductores III-V (AlGaAs/GaAs/AlGaAs, utilizando una composición del Al de 33 %) y fabricados en un sistema de epitaxia por haces moleculares. Se utilizó la técnica de difracción de electrones reflejados de alta energía (in-situ) para la caracterización por composición química, así como la técnica de espectroscopía por fotoluminiscencia (ex-situ) a baja temperatura para el análisis de los niveles de energía de tres diferentes pozos cuánticos no-acoplados. Se obtuvo una buena correlación entre el monitoreo superficial y la caracterización espectroscópica de la muestra estudiada.
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